铜铝互连结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010630546.0

申请日：

2020-07-03

公开(公告)号：

CN111725133B

公开(公告)日：

2020-09-29

发明(设计)人：

卢光远陈瑜陈华伦

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23522 H01L23532 H01L23544

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

罗雅文

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-16	授权	授权
2020-09-29	公开	公开
2020-10-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20200703

共 50 条

[1]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[2]

铜互连结构制作方法 [P].

邢中豪 ;

赵波 .

中国专利 :CN112259502B ,2021-01-22

[3]

铜互连结构的制作方法 [P].

彭冰清 .

中国专利 :CN102881633B ,2013-01-16

[4]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

徐强 ;

郑春生 ;

张文广 .

中国专利 :CN102324400A ,2012-01-18

[5]

铜互连结构的制作方法 [P].

陈玉文 ;

黄晓橹 ;

谢欣云 .

中国专利 :CN102324401B ,2012-01-18

[6]

铜互连结构及其制作方法 [P].

拉比尔·伊斯拉姆 ;

阿乌格里诺斯·V·格拉特斯 ;

克文·卢卡斯 ;

斯坦利·M·费里皮克 ;

拉纳思·温卡特拉曼 .

中国专利 :CN1232291A ,1999-10-20

[7]

互连结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681466A ,2014-03-26

[8]

铜铝线互连结构的互连孔制作方法 [P].

卢光远 ;

陈瑜 ;

陈华伦 .

中国专利 :CN111653519A ,2020-09-11

[9]

互连结构的制作方法 [P].

陈碧钦 ;

何伟业 ;

聂佳相 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102446813A ,2012-05-09

[10]

互连结构的制作方法 [P].

周俊卿 ;

何其暘 ;

胡敏达 ;

曹轶宾 .

中国专利 :CN105633011B ,2016-06-01

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