等离子加工方法和设备及用于等离子加工的托架

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03109545.3

申请日：

2003-04-09

公开(公告)号：

CN100343956C

公开(公告)日：

2003-10-22

发明(设计)人：

奥村智洋新田敏也

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21302

IPC分类号：

H01L213065 H01L21205

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

刘晓峰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-10-22	公开	公开
2005-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-10-17	授权	授权
2012-06-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101272910244 IPC(主分类):H01L 21/302 专利号:ZL031095453 申请日:20030409 授权公告日:20071017 终止日期:20110409

共 50 条

[1]

等离子加工设备 [P].

岩崎征英 .

中国专利 :CN101647101A ,2010-02-10

[2]

等离子加工设备 [P].

有田洁 ;

岩井哲博 ;

中川显 .

中国专利 :CN100383951C ,2006-08-23

[3]

等离子加工设备 [P].

田寺孝光 ;

山本达志 ;

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN1228819C ,2002-07-17

[4]

等离子加工方法 [P].

山口义博 ;

加端哲也 ;

入山孝宏 .

中国专利 :CN100396419C ,2004-06-30

[5]

等离子加工设备 [P].

武内稔公 ;

中岛节男 ;

斋藤直道 ;

西川理 .

中国专利 :CN101023713A ,2007-08-22

[6]

等离子加工设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

郑然周 ;

孙亨圭 ;

金春植 ;

郑元基 ;

朴希侦 .

中国专利 :CN101232769A ,2008-07-30

[7]

等离子加工设备 [P].

中岛节男 ;

武内稔公 ;

松崎纯一 ;

真弓聪 ;

西川理 ;

斋藤直道 ;

中野良宪 ;

福士麻琴 ;

古野喜彦 .

中国专利 :CN101258784A ,2008-09-03

[8]

等离子加工设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

孙亨圭 ;

李祯彬 ;

李昌根 ;

高英培 ;

金春植 .

中国专利 :CN1812682A ,2006-08-02

[9]

等离子加工设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

郑然周 ;

孙亨圭 ;

金春植 ;

郑元基 ;

朴希侦 .

中国专利 :CN1812685A ,2006-08-02

[10]

等离子加工设备 [P].

李荣钟 ;

崔浚泳 ;

孙亨圭 .

中国专利 :CN100452290C ,2006-08-09

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