大口径反射光学系统检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820167833.0

申请日：

2018-01-31

公开(公告)号：

CN207894589U

公开(公告)日：

2018-09-21

发明(设计)人：

庞志海凤良杰樊学武邹刚毅

申请人：

申请人地址：

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

唐沛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

大口径反射光学系统检测装置及方法 [P].

庞志海 ;

凤良杰 ;

樊学武 ;

邹刚毅 .

中国专利 :CN108132142B ,2024-04-05

[2]

大口径反射光学系统检测装置及方法 [P].

庞志海 ;

凤良杰 ;

樊学武 ;

邹刚毅 .

中国专利 :CN108132142A ,2018-06-08

[3]

大口径反射光学系统中间像面检测装置 [P].

庞志海 ;

樊学武 ;

邹刚毅 ;

马臻 .

中国专利 :CN208012836U ,2018-10-26

[4]

大口径反射光学系统中间像面检测装置及方法 [P].

庞志海 ;

樊学武 ;

邹刚毅 ;

马臻 .

中国专利 :CN108181092A ,2018-06-19

[5]

一种大口径大视场折反射光学系统 [P].

王保华 ;

李阳 ;

张绪国 ;

刘雨晨 ;

封宇航 ;

黄浦 .

中国专利 :CN116125647B ,2025-11-18

[6]

一种反射式大口径光学系统 [P].

孙建华 ;

张哲子 ;

杨英姿 .

中国专利 :CN202929282U ,2013-05-08

[7]

一种检测大口径光学系统波前的装置 [P].

汪利华 ;

杨伟 .

中国专利 :CN102507155B ,2012-06-20

[8]

大口径光学系统近场检测装置及其测量方法 [P].

寇松峰 ;

叶宇 ;

张志永 ;

田源 ;

顾伯忠 .

中国专利 :CN108871733B ,2018-11-23

[9]

折射反射光学系统和具有该折射反射光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN100460921C ,2004-10-06

[10]

长焦距、大口径、连续变焦距光学系统 [P].

王立升 .

中国专利 :CN2233093Y ,1996-08-14

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