一种硅片插片检测装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821021066.9
申请日
2018-06-29
公开(公告)号
CN208765675U
公开(公告)日
2019-04-19
发明(设计)人
吴仕通 杨建国 吴小伟 申朝锋
申请人
申请人地址
710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
IPC主分类号
G01B1116
IPC分类号
代理机构
西安弘理专利事务所 61214
代理人
钟欢
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片插片机用硅片不良品检测装置 [P]. 
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丁贵英 .
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[2]
一种插片机用硅片快速检测装置 [P]. 
章祥静 ;
周裕吉 .
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[3]
插片机硅片上片位置检测装置 [P]. 
沈习部 ;
朱兴华 ;
蔺雷亭 .
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[4]
一种硅片插片机构 [P]. 
靳立辉 ;
杨亮 ;
王德智 ;
丁天时 ;
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[5]
一种硅片插片装置 [P]. 
张招洋 ;
路鑫 ;
朱光瑞 .
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[6]
一种硅片插片装置 [P]. 
黄昱 ;
方荣 ;
李中心 ;
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[7]
一种硅片插片装置 [P]. 
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[8]
硅片插片装置 [P]. 
孙铁囤 ;
姚伟忠 ;
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[9]
硅片插片装置 [P]. 
邱文良 .
中国专利 :CN205303494U ,2016-06-08
[10]
一种硅片插片用硅片缓冲装置 [P]. 
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中国专利 :CN217933734U ,2022-11-29