一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510824541.0
申请日
2015-11-24
公开(公告)号
CN106756880B
公开(公告)日
2017-05-31
发明(设计)人
唐永炳 蒋春磊 张静
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
IPC主分类号
C23C1644
IPC分类号
C23C1627 C23C1652
代理机构
深圳中一专利商标事务所 44237
代理人
张全文
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
类金刚石涂层锯片制备方法及类金刚石涂层锯片 [P]. 
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[2]
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[3]
一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法 [P]. 
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[4]
含类金刚石复合涂层及其制备方法 [P]. 
唐永炳 ;
朱海莉 ;
蒋春磊 ;
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[5]
一种类金刚石复合涂层的制备方法及类金刚石复合涂层 [P]. 
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[6]
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阮华权 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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