一种纳米水基硅氧烷铝缓蚀剂及其制备和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910149952.2

申请日：

2019-02-28

公开(公告)号：

CN109666938A

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

陆静程庆华刘霁余杨柳

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区青鸾路28号

IPC主分类号：

C23F1112

IPC分类号：

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101

代理人：

卢敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 11/12 申请日:20190228
2019-04-23	公开	公开
2021-12-21	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C23F 11/12 申请公布日:20190423

共 50 条

[1]

一种硅氧烷酮铝缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

王永刚 ;

王俊格 ;

胡嘉 ;

陈超毅 .

中国专利 :CN113956280A ,2022-01-21

[2]

一种硅氧烷酮铝缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

王永刚 ;

王俊格 ;

胡嘉 ;

陈超毅 .

中国专利 :CN113956280B ,2024-02-02

[3]

一种硅氧烷酮铝缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

王永刚 ;

王俊格 ;

胡嘉 ;

陈超毅 .

中国专利 :CN114032553A ,2022-02-11

[4]

一种纳米水基硅溶胶缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

肖建军 ;

童海霞 .

中国专利 :CN113832466A ,2021-12-24

[5]

一种超支化聚硅氧烷涂层缓蚀剂及其制备方法、超支化聚硅氧烷环氧防腐涂料及其制备方法和应用 [P].

郭小平 .

中国专利 :CN119119495A ,2024-12-13

[6]

一种双亲氟硅氧烷及其制备方法和应用 [P].

张贤慧 ;

吴建华 ;

吴波 ;

杨阳 .

中国专利 :CN110396198A ,2019-11-01

[7]

一种硅氧烷助剂及其制备方法和应用 [P].

马伟 ;

张聪颖 ;

曹骏 ;

高源 ;

杨继朋 ;

张守宽 .

中国专利 :CN111303200B ,2020-06-19

[8]

一种铝碱洗缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

孙立明 ;

贾虹 ;

孙若思 .

中国专利 :CN104372362A ,2015-02-25

[9]

铝缓蚀剂及其制备方法和应用 [P].

李少林 ;

刘机灵 ;

谭金平 .

中国专利 :CN106367759A ,2017-02-01

[10]

氟化聚醚硅氧烷及其制备方法和应用 [P].

俸颢 ;

梁望 ;

石晓遂 ;

李克 .

中国专利 :CN109929114B ,2019-06-25

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