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一种用于改善晶圆干燥模组洁净度的机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023272270.8
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN214250516U
公开(公告)日：
2021-09-21
发明(设计)人：
邓信甫
周乾
刘大威
陈丁堃
申请人：
申请人地址：
200241 上海市闵行区紫海路170号
IPC主分类号：
F26B2500
IPC分类号：
C30B3300
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
沈栋栋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-21 | 授权 | 授权 |