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真空吸引系统及其控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200410002916.7
申请日：
2004-01-20
公开(公告)号：
CN1533969A
公开(公告)日：
2004-10-06
发明(设计)人：
小岛智幸
松川繁
阿部博晃
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
B65G4791
IPC分类号：
H01L2168
H05K1300
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张天安;郑建晖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2004-10-06 | 公开 | 公开 |
| 2006-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2009-12-02 | 授权 | 授权 |