陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610168229.1

申请日：

2006-12-26

公开(公告)号：

CN101005032A

公开(公告)日：

2007-07-25

发明(设计)人：

木岛健

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21316

IPC分类号：

H01L2102 C23C810

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

余刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-25	公开	公开
2009-08-05	授权	授权
2007-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2020-12-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/316 申请日:20061226 授权公告日:20090805 终止日期:20191226

共 50 条

[1]

陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置 [P].

木岛健 .

中国专利 :CN101425460A ,2009-05-06

[2]

制造陶瓷膜的方法 [P].

陈皆成 ;

R·普拉萨德 .

中国专利 :CN1251318A ,2000-04-26

[3]

张兴保 .

中国专利 :CN3643790D ,2007-05-09

[4]

薛永 .

中国专利 :CN306841445S ,2021-09-21

[5]

张勇 ;

林雄水 ;

康辉 ;

范巧娜 .

中国专利 :CN305155705S ,2019-05-10

[6]

陶瓷膜反冲装置及陶瓷膜设备 [P].

李旭 ;

周玉广 ;

王宁 ;

韩伟 .

中国专利 :CN202237817U ,2012-05-30

[7]

陶瓷膜组（柱式陶瓷膜系统） [P].

周水姣 ;

姜春亮 ;

初禹利 .

中国专利 :CN309181276S ,2025-03-18

[8]

陶瓷膜系统 [P].

王兆光 ;

王丽珍 .

中国专利 :CN220834962U ,2024-04-26

[9]

陶瓷膜（37） [P].

翁志龙 ;

郭宇伟 .

中国专利 :CN305736153S ,2020-04-24

[10]

陶瓷膜元件 [P].

陈文松 .

中国专利 :CN307714589S ,2022-12-06

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