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石英舟和夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120321686.6
申请日：
2011-08-30
公开(公告)号：
CN202205726U
公开(公告)日：
2012-04-25
发明(设计)人：
刘波
张朝坤
佘余华
申请人：
申请人地址：
518118 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路3号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
吴平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-04-25 | 授权 | 授权 |
| 2017-10-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20110830 授权公告日:20120425 终止日期:20160830 |