图案化基板的断开方法及断开装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510388862.0

申请日：

2015-07-03

公开(公告)号：

CN105470198B

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

武田真和宫川学

申请人：

申请人地址：

日本大阪

IPC主分类号：

H01L2178

IPC分类号：

H01L21683 H01L2166

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

田喜庆;吴孟秋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	公开	公开
2017-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101749578821 IPC(主分类):H01L 21/78 专利申请号:2015103888620 申请日:20150703
2020-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

图案化基板的断开方法及断开装置 [P].

武田真和 ;

宫川学 .

中国专利 :CN106181056A ,2016-12-07

[2]

图案化基板的断开方法及断开装置 [P].

武田真和 ;

宫川学 .

中国专利 :CN105459277A ,2016-04-06

[3]

脆性材料基板的断开装置及断开方法 [P].

近藤教之 ;

中古郁祥 .

中国专利 :CN102254863B ,2011-11-23

[4]

脆性材料基板的断开方法及断开装置 [P].

井上修一 .

中国专利 :CN107866637B ,2018-04-03

[5]

脆性材料基板的断开方法以及断开装置 [P].

村上健二 .

中国专利 :CN108115853A ,2018-06-05

[6]

脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法 [P].

金荣男 .

中国专利 :CN109422456B ,2019-03-05

[7]

脆性材料基板的断开方法及基板加工装置 [P].

上野勉 ;

高松生芳 .

中国专利 :CN113442313A ,2021-09-28

[8]

脆性材料基板的断开方法 [P].

曽山浩 .

中国专利 :CN106079116A ,2016-11-09

[9]

脆性材料断开装置以及脆性材料断开方法 [P].

冈岛康智 .

中国专利 :CN102015233A ,2011-04-13

[10]

保持装置及基板断开装置 [P].

冈岛康智 ;

池田健一郎 .

中国专利 :CN102399053A ,2012-04-04

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