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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-03-26 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101581061416 IPC(主分类):H01L 21/56 专利号:ZL2010101051676 申请日:20100131 授权公告日:20110928 终止日期:20130131 |
| 2010-06-30 | 公开 | 公开 |
| 2010-08-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005087686 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2010101051676 申请日:20100131 |
| 2011-09-28 | 授权 | 授权 |
| 2012-05-09 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101351326569 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2010101051676 变更事项:发明人 变更前:谢占魁;祖静;裴东兴;谢锐;张瑜;马铁华;范锦彪;李新娥;张红艳 变更后:李新娥;谢占魁;祖静;裴东兴;谢锐;张瑜;马铁华;范锦彪;张红艳 |