有机无机复合激光热刻蚀薄膜和微纳图形制备的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110238541.4

申请日：

2011-08-19

公开(公告)号：

CN102338986B

公开(公告)日：

2012-02-01

发明(设计)人：

李豪耿永友吴谊群

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G03F709

IPC分类号：

G03F700 G03F720

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-01	公开	公开
2019-08-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/09 申请日:20110819 授权公告日:20130410 终止日期:20180819
2013-04-10	授权	授权
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101211310728 IPC(主分类):G03F 7/09 专利申请号:2011102385414 申请日:20110819

共 50 条

[1]

提高激光热刻蚀图形分辨率的薄膜结构及其制备方法 [P].

李豪 ;

耿永友 ;

吴谊群 ;

魏劲松 ;

王阳 .

中国专利 :CN102636958A ,2012-08-15

[2]

激光直写薄膜和激光直写微纳图形的方法 [P].

顿爱欢 ;

魏劲松 ;

干福熹 .

中国专利 :CN101892461A ,2010-11-24

[3]

有机-无机复合隔膜的制备方法、有机-无机复合隔膜和电池 [P].

邵欣 ;

王志涛 ;

邵麟 .

中国专利 :CN121216053A ,2025-12-26

[4]

有机-无机复合光致发光薄膜及其制备方法和用途 [P].

郝亚楠 ;

张家萌 ;

毕科 .

中国专利 :CN108546379A ,2018-09-18

[5]

有机无机复合相变微粉及制备方法 [P].

蒋金洋 ;

琚思懿 ;

王立国 ;

王凤娟 ;

辛忠毅 ;

秦志斌 ;

苏卫国 .

中国专利 :CN113105144A ,2021-07-13

[6]

一种有机无机复合陶瓷纳滤膜的制备方法 [P].

陈云强 ;

洪昱斌 ;

蓝伟光 .

中国专利 :CN110038438A ,2019-07-23

[7]

具有菊花状微纳结构的有机-无机复合涂层及其制备方法 [P].

肖国民 ;

尚倩倩 ;

王孟玉 ;

刘虎 ;

谈国华 ;

程作华 .

中国专利 :CN102086333A ,2011-06-08

[8]

一种有机无机复合微滤膜的制备方法 [P].

陈莉莉 .

中国专利 :CN110115940A ,2019-08-13

[9]

自润滑有机无机复合纳米薄膜及其制备方法 [P].

薛群基 ;

蔡辉 ;

阎逢元 ;

刘维民 ;

陈建敏 .

中国专利 :CN1422897A ,2003-06-11

[10]

有机/无机复合小球的制备方法 [P].

陈铖 ;

赵素丽 ;

李涛 ;

石秉忠 ;

王琳 ;

钱晓琳 .

中国专利 :CN103509143A ,2014-01-15

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