聚合物及光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011398527.6

申请日：

2020-12-02

公开(公告)号：

CN113121734A

公开(公告)日：

2021-07-16

发明(设计)人：

J·K·朴 E·阿卡德宋旸 C·吴刘聪李明琦

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C08F21214

IPC分类号：

C08F21208 C08F22018 C08F800 G03F7004

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

徐鑫;陈哲锋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 212/14 申请日:20201202
2021-07-16	公开	公开

共 50 条

[1]

聚合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

J·K·朴 ;

E·阿卡德 ;

宋旸 ;

C·吴 ;

刘聪 ;

李明琦 .

美国专利 :CN113121734B ,2024-07-30

[2]

聚合物及光致抗蚀剂组合物 [P].

宋旸 ;

朴钟根 ;

E·阿卡德 ;

李明琦 ;

刘聪 ;

J·W·萨克莱 ;

P·特雷福纳斯三世 .

中国专利 :CN112661877A ,2021-04-16

[3]

光致抗蚀剂聚合物及包含其的光致抗蚀剂组合物 [P].

李根守 .

中国专利 :CN1605938A ,2005-04-13

[4]

光致抗蚀剂聚合物与含有该光致抗蚀剂聚合物的光致抗蚀剂化合物 [P].

郑载昌 .

中国专利 :CN1584740A ,2005-02-23

[5]

单体,聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

孙纪斌 ;

Y·C·裴 ;

朴钟根 ;

李承泫 ;

C·安德斯 .

中国专利 :CN103121951A ,2013-05-29

[6]

单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

柳義炫 ;

金明烈 ;

W-H·李 ;

H·郑 ;

K-H·任 .

中国专利 :CN108264605A ,2018-07-10

[7]

单体、聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

柳义炫 ;

张珉敬 ;

金昭佑 ;

K-M·崔 ;

H·全 ;

W-H·李 ;

金明烈 .

中国专利 :CN107793527B ,2018-03-13

[8]

新聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

E·阿恰达 ;

刘骢 ;

C-B·徐 .

中国专利 :CN106125506A ,2016-11-16

[9]

用于光致抗蚀剂组合物的聚合物 [P].

S·查克拉帕尼 ;

M·帕德马纳本 ;

M·迪亚加拉詹 ;

工藤隆范 ;

D·L·伦特奇维茨 .

中国专利 :CN101815733B ,2010-08-25

[10]

新聚合物和光致抗蚀剂组合物 [P].

E·阿恰达 ;

刘骢 ;

C-B·徐 .

中国专利 :CN102279520A ,2011-12-14

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