一种稀土金属旋转靶材制备设备

被引：0

申请号：

CN202210708011.X

申请日：

2022-06-21

公开(公告)号：

CN115074681A

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

许杰富

申请人：

申请人地址：

650000 云南省昆明市盘龙区白云路258号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

F25D102

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	公开	公开
2022-11-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20220621

共 50 条

[1]

一种稀土金属旋转靶材制备设备 [P].

许杰富 .

中国专利 :CN115074681B ,2025-03-14

[2]

稀土金属旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

娄树普 ;

温永清 ;

王誉 .

中国专利 :CN107799253A ,2018-03-13

[3]

一种稀土金属旋转靶材及其制造方法 [P].

肖世洪 ;

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109536909A ,2019-03-29

[4]

稀土金属PrNd旋转靶材的制造方法 [P].

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

娄树普 ;

温永清 .

中国专利 :CN108251802A ,2018-07-06

[5]

一种稀土金属及稀土合金旋转靶材的制造装置及方法 [P].

洪威 ;

胡全军 ;

韩小亮 ;

刘帅兵 ;

张永健 ;

崔红岩 .

中国专利 :CN113106407B ,2021-07-13

[6]

一种用于形成稀土金属靶材的制备装置 [P].

刘晓通 ;

彭众杰 .

中国专利 :CN209288507U ,2019-08-23

[7]

稀土金属靶材及其制备方法 [P].

谢家豪 ;

彭卓玮 ;

贺茂青 ;

盛帅 ;

刘维赛 ;

焦照临 ;

赵瑞山 ;

朱鑫波 ;

何杨忠 ;

凌凯 ;

阳顺 .

中国专利 :CN119710327A ,2025-03-28

[8]

稀土金属靶材及其制备方法 [P].

王志强 ;

吴道高 ;

张小伟 ;

陈德宏 ;

张虎 ;

程军 ;

杨宏博 ;

杨秉政 .

中国专利 :CN106637100B ,2017-05-10

[9]

一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法 [P].

肖世洪 ;

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109536902A ,2019-03-29

[10]

一种稀土金属靶材及其制备方法 [P].

杨培生 ;

杨树峰 ;

郭树一 ;

窦金健 .

中国专利 :CN120683460A ,2025-09-23

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