一种氮化硅圆棒外圆磨削装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020971173.9
申请日
2020-06-01
公开(公告)号
CN212977868U
公开(公告)日
2021-04-16
发明(设计)人
黄剑克
申请人
申请人地址
223800 江苏省宿迁市泗阳县王集镇全民创业园发展大道
IPC主分类号
B24B2706
IPC分类号
B24B4106 B24B4712 B24B4720 B24B5504
代理机构
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589
代理人
张铁兰
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种柱状氮化硅材料外圆磨削装置 [P]. 
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[2]
微型圆棒刚性外圆磨削装置 [P]. 
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[3]
在单晶圆装置中蚀刻氮化硅 [P]. 
于伟波 ;
吕学青 ;
周汉源 ;
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陈昭成 ;
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[4]
外圆磨削装置 [P]. 
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张尊勇 ;
孙云忠 .
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[5]
外圆磨削装置 [P]. 
李红伟 ;
孙海 ;
张尊勇 ;
孙云忠 .
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[6]
外圆磨削装置 [P]. 
黄云 .
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[7]
一种单晶硅方棒外圆磨削装置 [P]. 
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[8]
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[9]
氮化硅销棒 [P]. 
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[10]
硬质合金棒外圆磨削装置 [P]. 
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李浒 ;
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