一种高效扩散用石英舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021720004.4

申请日：

2020-08-18

公开(公告)号：

CN212648202U

公开(公告)日：

2021-03-02

发明(设计)人：

兰锋

申请人：

申请人地址：

324000 浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

浙江永鼎律师事务所 33233

代理人：

陆永强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-02	授权	授权

共 50 条

[1]

高效扩散石英舟 [P].

徐锐 ;

孙铁囤 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN207199589U ,2018-04-06

[2]

石英舟、石英舟组件及扩散炉 [P].

谢毅 ;

周公庆 ;

马志强 ;

王璞 ;

陈坤 .

中国专利 :CN212610988U ,2021-02-26

[3]

一种双层扩散石英舟 [P].

方结彬 ;

秦崇德 ;

石强 ;

黄玉平 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN205335234U ,2016-06-22

[4]

一种适用于高温扩散的石英舟 [P].

柳旭宁 ;

雷有林 ;

刘洪东 ;

高艳飞 ;

宋标 .

中国专利 :CN216311733U ,2022-04-15

[5]

一种石英舟 [P].

陈海燕 ;

沈雯 ;

邓伟伟 .

中国专利 :CN213278040U ,2021-05-25

[6]

一种石英舟 [P].

沈少杰 .

中国专利 :CN204155911U ,2015-02-11

[7]

一种石英舟 [P].

韩柱 .

中国专利 :CN202758856U ,2013-02-27

[8]

一种石英舟 [P].

陈海燕 ;

邓伟伟 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN210516688U ,2020-05-12

[9]

扩散石英舟 [P].

黄华 ;

陈琼 .

中国专利 :CN203085500U ,2013-07-24

[10]

扩散石英舟 [P].

和江变 ;

邹凯 ;

周国华 ;

马承鸿 ;

李健 .

中国专利 :CN205692810U ,2016-11-16

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