一种OVD芯棒沉积靶棒抽取装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202022985434.5
申请日
2020-12-11
公开(公告)号
CN213865953U
公开(公告)日
2021-08-03
发明(设计)人
王玉财 刘群 李延祥 谷振飞 高洪旭 沈国锋
申请人
申请人地址
271200 山东省泰安市新泰市经济开发区新区和圣路2号
IPC主分类号
C03B37014
IPC分类号
代理机构
济南诚智商标专利事务所有限公司 37105
代理人
刘明
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种芯棒抽取装置 [P]. 
孙环生 .
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胥如灿 ;
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[6]
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吴俊杰 ;
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王祥 ;
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