一种蚀刻辅助的微细超声加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520490862.7

申请日：

2015-07-09

公开(公告)号：

CN204959042U

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

袁聪

申请人：

申请人地址：

413000 湖南省益阳市赫山区迎宾东路518号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

C23F116

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101744178897 IPC(主分类):C23F 1/08 专利号:ZL2015204908627 申请日:20150709 授权公告日:20160113 终止日期:20160709
2016-01-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种蚀刻辅助的微细超声加工装置及方法 [P].

袁聪 .

中国专利 :CN104962916A ,2015-10-07

[2]

一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液及其制备方法 [P].

袁聪 .

中国专利 :CN104947109B ,2015-09-30

[3]

微流道电泳辅助微细超声加工装置 [P].

连海山 ;

莫德云 ;

张林鹏 ;

钟玉莹 ;

郭博文 .

中国专利 :CN212043829U ,2020-12-01

[4]

一种游离磨料微细超声加工装置 [P].

罗志强 .

中国专利 :CN215700224U ,2022-02-01

[5]

一种电泳辅助微细超声加工机床 [P].

郭钟宁 ;

何俊峰 ;

连海山 ;

张伟 ;

韩瑞聪 .

中国专利 :CN203292952U ,2013-11-20

[6]

一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴 [P].

连海山 ;

邓翠园 ;

莫德云 ;

莫远东 ;

张林鹏 .

中国专利 :CN212071301U ,2020-12-04

[7]

一种电泳辅助微细超声或微细旋转超声抛光微孔的装置 [P].

连海山 ;

郭钟宁 ;

何俊峰 ;

张伟 .

中国专利 :CN203611073U ,2014-05-28

[8]

一种超声波辅助微细加工装置 [P].

张东秀 ;

夏祥瑞 .

中国专利 :CN223656637U ,2025-12-12

[9]

一种微细超声加工系统 [P].

郭钟宁 ;

钟明浩 ;

何俊峰 ;

谭蓉 .

中国专利 :CN209970283U ,2020-01-21

[10]

一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴 [P].

连海山 ;

邓翠园 ;

莫德云 ;

莫元东 .

中国专利 :CN111438569B ,2024-12-13

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