一种基于光栅尺的快速倾斜镜位置速率控制装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201911326011.8
申请日
2019-12-20
公开(公告)号
CN110927920B
公开(公告)日
2020-03-27
发明(设计)人
阮勇 徐田荣 杨涛 凌宇 赵志强 杜升平 蒋晶 唐涛
申请人
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
IPC主分类号
G02B7182
IPC分类号
G05B1142
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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