用于光刻掩模版的快速交换装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980113525.3

申请日：

2009-04-14

公开(公告)号：

CN102007455B

公开(公告)日：

2011-04-06

发明(设计)人：

R·G·M·兰斯博根 G·H·哈罗德 R·J·约翰森 H·J·G·范德维登

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-12	授权	授权
2011-04-06	公开	公开
2011-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101077297021 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009801135253 申请日:20090414

共 50 条

[1]

用于光刻掩模版的快速交换装置 [P].

R·G·M·兰斯博根 ;

G·H·哈罗德 ;

R·J·约翰森 ;

H·J·G·范德维登 .

中国专利 :CN103713475A ,2014-04-09

[2]

铣刀快速交换装置 [P].

王群 ;

季启中 .

中国专利 :CN202701473U ,2013-01-30

[3]

用于掩模板的快速交换装置中的共享的顺应性和掩模板平台 [P].

理查德·约翰森 ;

F·范徳穆伦 ;

埃里克·韦斯特法尔 ;

杰里米·黑斯顿 .

中国专利 :CN102365590B ,2012-02-29

[4]

部品箱快速交换装置 [P].

宋俊才 ;

梁晓薇 ;

刘健威 ;

邓明 ;

谭符军 ;

骆健湖 .

中国专利 :CN217397622U ,2022-09-09

[5]

自锁式刀具快速交换装置 [P].

孙造 ;

邹运 ;

鞠修勇 ;

姜美娜 ;

唐倩 ;

李壮 ;

文怀栋 ;

刘航 .

中国专利 :CN203542177U ,2014-04-16

[6]

一种夹具快速交换装置 [P].

杜军锋 .

中国专利 :CN216730711U ,2022-06-14

[7]

一种夹具快速交换装置 [P].

杜军锋 .

中国专利 :CN114102206A ,2022-03-01

[8]

一种分条机快速交换装置 [P].

汪昊 ;

王茂 ;

刘帅 .

中国专利 :CN223073622U ,2025-07-08

[9]

自锁式刀具快速交换装置 [P].

孙造 ;

邹运 ;

鞠修勇 ;

姜美娜 ;

唐倩 ;

李壮 ;

文怀栋 ;

刘航 .

中国专利 :CN103495895A ,2014-01-08

[10]

多孔道内镜附件快速交换装置 [P].

段本松 ;

李景泽 ;

徐美东 .

中国专利 :CN110840383A ,2020-02-28

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