三明治结构的超低介电常数膜及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010143351.X
申请日
2010-03-11
公开(公告)号
CN102189724B
公开(公告)日
2011-09-21
发明(设计)人
杨扬 赵超越 陈桥 吴刚
申请人
申请人地址
226009 江苏省南通市经济技术开发区新开南路58号
IPC主分类号
B32B2706
IPC分类号
B32B2734 B32B2720 C08L7908
代理机构
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法律状态
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共 50 条
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