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一种霍尔离子源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921703112.8
申请日：
2019-10-11
公开(公告)号：
CN211227315U
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
刘慧超
申请人：
申请人地址：
523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区光大We谷A1栋1318号房
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1432
H01J2714
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-11 | 授权 | 授权 |