化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080034696.X

申请日：

2010-08-05

公开(公告)号：

CN102498557A

公开(公告)日：

2012-06-13

发明(设计)人：

布莱恩·H·布尔洛斯罗纳德·史蒂文斯雅各布·格雷森约书亚·J·帕德斯塔萨迪普·尼哈万劳瑞·D·华盛顿亚历山大·泰姆苏玫德·阿凯亚

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

柳春雷

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710737999 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:201080034696X 申请公布日:20120613
2012-06-13	公开	公开
2012-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101314709824 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:201080034696X 申请日:20100805

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

[3]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[4]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[5]

化学气相沉积设备 [P].

胡昌义 ;

雷春明 ;

毛勇 ;

郭锦新 ;

李靖华 ;

周世平 ;

徐云 ;

王云 ;

欧阳远良 .

中国专利 :CN2851277Y ,2006-12-27

[6]

化学气相沉积设备 [P].

朱人伟 ;

杨军 ;

朱瑶 ;

胡万春 .

中国专利 :CN222250974U ,2024-12-27

[7]

化学气相沉积设备 [P].

张祥来 ;

李相琝 .

中国专利 :CN101591774A ,2009-12-02

[8]

化学气相沉积设备 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275883U ,2024-07-05

[9]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223176201U ,2025-08-01

[10]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074615A ,2013-05-01

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