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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/52 申请日:20120106 授权公告日:20121010 终止日期:20210106 |
| 2012-10-10 | 授权 | 授权 |
| 2015-12-16 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724983380 IPC(主分类):C23C 14/52 专利号:ZL201220003304X 变更事项:专利权人 变更前:肇庆市振华真空机械有限公司 变更后:广东振华科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:526060 广东省肇庆市端州一路端州科技园内兴华二路 变更后:526060 广东省肇庆市端州一路端州科技园内兴华二路 |