形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310475430.4

申请日：

2013-10-11

公开(公告)号：

CN103528499B

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

胡鹏程谭久彬

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B902

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573730328 IPC(主分类):G01B 9/02 专利申请号:2013104754304 申请日:20131011
2014-01-22	公开	公开
2015-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

形貌补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499278B ,2014-01-08

[2]

形貌补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

毛帅 .

中国专利 :CN103528526B ,2014-01-22

[3]

回位补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499286A ,2014-01-08

[4]

双光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499285A ,2014-01-08

[5]

回位补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528504B ,2014-01-22

[6]

四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528505A ,2014-01-22

[7]

形貌补偿式双光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

谭久彬 ;

胡鹏程 ;

毛帅 .

中国专利 :CN103528508A ,2014-01-22

[8]

回位补偿式三光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499280A ,2014-01-08

[9]

三光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103528525B ,2014-01-22

[10]

形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置 [P].

胡鹏程 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN103499289A ,2014-01-08

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