一种高速高质量单晶金刚石的生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810377077.9
申请日
2018-04-24
公开(公告)号
CN108611680B
公开(公告)日
2018-10-02
发明(设计)人
龚猛 周广迪 郁万成 金鹏 王占国
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
C30B2904
IPC分类号
C30B2520
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
任岩
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高质量高速度单晶金刚石薄膜的生长方法 [P]. 
王宏兴 .
中国专利 :CN103710748A ,2014-04-09
[2]
基于自组装工艺的高质量单晶金刚石生长方法 [P]. 
王宏兴 ;
李硕业 ;
刘璋成 ;
王玮 ;
张景文 ;
卜忍安 ;
侯洵 .
中国专利 :CN104911702B ,2015-09-16
[3]
一种高质量金刚石生长方法和系统 [P]. 
彭国令 ;
黄翀 .
中国专利 :CN110820044B ,2020-02-21
[4]
一种高质量金刚石生长托盘和生长系统 [P]. 
彭国令 ;
黄翀 .
中国专利 :CN211771655U ,2020-10-27
[5]
一种高质量大尺寸单晶金刚石外延生长的方法 [P]. 
李成明 ;
郑宇亭 ;
邵思武 ;
朱肖华 ;
刘金龙 ;
魏俊俊 ;
陈良贤 .
中国专利 :CN111206280A ,2020-05-29
[6]
MPCVD单晶金刚石生长钼托及单晶金刚石的生长方法 [P]. 
马孟宇 ;
蔚翠 ;
郭建超 ;
刘庆斌 ;
王亚伟 ;
周闯杰 ;
何泽召 ;
冯志红 .
中国专利 :CN114686971A ,2022-07-01
[7]
一种分阶段生长高质量异质外延单晶金刚石的方法 [P]. 
李红东 ;
张浩楠 ;
成绍恒 ;
刘钧松 ;
高楠 ;
张宇轩 .
中国专利 :CN120174480A ,2025-06-20
[8]
一种粉末作为掩膜生长高质量金刚石单晶的方法 [P]. 
刘厚盛 ;
张国凯 ;
陈明 ;
曹通 ;
郭崇 ;
郭鋆 ;
李巷雨 .
中国专利 :CN117364234A ,2024-01-09
[9]
一种生长金刚石单晶用样品托及金刚石单晶生长方法 [P]. 
丁雄傑 ;
王忠强 ;
王琦 ;
张国义 .
中国专利 :CN111074343A ,2020-04-28
[10]
一种高质量自支撑金刚石厚膜的生长方法 [P]. 
眭旭 ;
郭钰 ;
刘春俊 ;
彭同华 ;
杨建 .
中国专利 :CN121023461A ,2025-11-28