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一种高速高质量单晶金刚石的生长方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201810377077.9
申请日
:
2018-04-24
公开(公告)号
:
CN108611680B
公开(公告)日
:
2018-10-02
发明(设计)人
:
龚猛
周广迪
郁万成
金鹏
王占国
申请人
:
申请人地址
:
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
:
C30B2904
IPC分类号
:
C30B2520
代理机构
:
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
:
任岩
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-10-02
公开
公开
2020-06-19
授权
授权
2018-10-30
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/04 申请日:20180424
共 50 条
[1]
一种高质量高速度单晶金刚石薄膜的生长方法
[P].
王宏兴
论文数:
0
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0
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王宏兴
.
中国专利
:CN103710748A
,2014-04-09
[2]
基于自组装工艺的高质量单晶金刚石生长方法
[P].
王宏兴
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王宏兴
;
李硕业
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李硕业
;
刘璋成
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刘璋成
;
王玮
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王玮
;
张景文
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张景文
;
卜忍安
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卜忍安
;
侯洵
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侯洵
.
中国专利
:CN104911702B
,2015-09-16
[3]
一种高质量金刚石生长方法和系统
[P].
彭国令
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彭国令
;
黄翀
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黄翀
.
中国专利
:CN110820044B
,2020-02-21
[4]
一种高质量金刚石生长托盘和生长系统
[P].
彭国令
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彭国令
;
黄翀
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黄翀
.
中国专利
:CN211771655U
,2020-10-27
[5]
一种高质量大尺寸单晶金刚石外延生长的方法
[P].
李成明
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李成明
;
郑宇亭
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郑宇亭
;
邵思武
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邵思武
;
朱肖华
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朱肖华
;
刘金龙
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刘金龙
;
魏俊俊
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魏俊俊
;
陈良贤
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陈良贤
.
中国专利
:CN111206280A
,2020-05-29
[6]
MPCVD单晶金刚石生长钼托及单晶金刚石的生长方法
[P].
马孟宇
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马孟宇
;
蔚翠
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蔚翠
;
郭建超
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郭建超
;
刘庆斌
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刘庆斌
;
王亚伟
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王亚伟
;
周闯杰
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周闯杰
;
何泽召
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何泽召
;
冯志红
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冯志红
.
中国专利
:CN114686971A
,2022-07-01
[7]
一种分阶段生长高质量异质外延单晶金刚石的方法
[P].
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机构:
李红东
;
张浩楠
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机构:
吉林大学
吉林大学
张浩楠
;
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机构:
成绍恒
;
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机构:
刘钧松
;
论文数:
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机构:
高楠
;
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机构:
张宇轩
.
中国专利
:CN120174480A
,2025-06-20
[8]
一种粉末作为掩膜生长高质量金刚石单晶的方法
[P].
刘厚盛
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
刘厚盛
;
张国凯
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
张国凯
;
陈明
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
陈明
;
曹通
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
曹通
;
郭崇
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
郭崇
;
郭鋆
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
郭鋆
;
李巷雨
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机构:
中南钻石有限公司
中南钻石有限公司
李巷雨
.
中国专利
:CN117364234A
,2024-01-09
[9]
一种生长金刚石单晶用样品托及金刚石单晶生长方法
[P].
丁雄傑
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丁雄傑
;
王忠强
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王忠强
;
王琦
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王琦
;
张国义
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张国义
.
中国专利
:CN111074343A
,2020-04-28
[10]
一种高质量自支撑金刚石厚膜的生长方法
[P].
眭旭
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机构:
北京天科合达半导体股份有限公司
北京天科合达半导体股份有限公司
眭旭
;
郭钰
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机构:
北京天科合达半导体股份有限公司
北京天科合达半导体股份有限公司
郭钰
;
刘春俊
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机构:
北京天科合达半导体股份有限公司
北京天科合达半导体股份有限公司
刘春俊
;
彭同华
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机构:
北京天科合达半导体股份有限公司
北京天科合达半导体股份有限公司
彭同华
;
论文数:
引用数:
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机构:
杨建
.
中国专利
:CN121023461A
,2025-11-28
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