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沉积腔室、镀膜设备及镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811303302.0
申请日：
2018-11-02
公开(公告)号：
CN111206206A
公开(公告)日：
2020-05-29
发明(设计)人：
田保峡
闻益
曲士座
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
IPC主分类号：
C23C1402
IPC分类号：
C23C1406
C23C1424
C23C1458
代理机构：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315
代理人：
许志勇
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-27 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/02 登记生效日:20210415 变更事项:申请人 变更前权利人:北京顶荣光伏科技有限公司 变更后权利人:深圳正粤开发建设有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015 变更后权利人:518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室 |
| 2021-04-27 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/02 变更事项:申请人 变更前:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 变更后:北京顶荣光伏科技有限公司 变更事项:地址 变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 变更后:100076 北京市大兴区瀛海镇镇区瀛顺路9号8号楼6层6015 |
| 2020-05-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-24 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/02 登记生效日:20210914 变更事项:申请人 变更前权利人:深圳正粤开发建设有限公司 变更后权利人:上海祖强能源有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518054 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室 变更后权利人:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层 |
| 2022-01-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20181102 |