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一种硅片传输装置及硅片传输系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821207182.X
申请日：
2018-07-27
公开(公告)号：
CN208596666U
公开(公告)日：
2019-03-12
发明(设计)人：
王钰雅
陆刚
石瑾瑜
申请人：
申请人地址：
224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-12 | 授权 | 授权 |
| 2021-02-23 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人 变更前:盐城阿特斯阳光能源科技有限公司 变更后:盐城阿特斯阳光能源科技有限公司 变更事项:地址 变更前:224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号 变更后:224000 江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号 变更事项:专利权人 变更前:阿特斯阳光电力集团有限公司 变更后:阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |