一种用于单晶硅晶圆片的抛光液及其应用

被引：0

申请号：

CN202211076078.2

申请日：

2022-09-05

公开(公告)号：

CN115466573A

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

王杰黄晓伟袁黎光钱金龙楚慧颖杨小牛

申请人：

申请人地址：

510530 广东省广州市黄埔区连云路388号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

B24B3704 H01L2102

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

宫爱鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	公开	公开
2022-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20220905

共 50 条

[1]

一种用于单晶硅晶圆片的抛光液及其应用 [P].

王杰 ;

黄晓伟 ;

袁黎光 ;

钱金龙 ;

楚慧颖 ;

杨小牛 .

中国专利 :CN115466573B ,2024-02-20

[2]

单晶硅抛光液排出系统 [P].

夏惠 ;

王春阳 ;

罗平新 ;

陆永康 .

中国专利 :CN217092357U ,2022-08-02

[3]

一种单晶硅晶圆片边缘抛光工艺 [P].

孙晨光 ;

魏艳军 ;

罗翀 ;

武卫 ;

吕莹 .

中国专利 :CN104526493A ,2015-04-22

[4]

一种单晶硅的抛光液及其制备方法和应用 [P].

魏先志 ;

罗壮东 ;

包亚群 .

中国专利 :CN118852983A ,2024-10-29

[5]

一种绿色单晶硅粗抛光液 [P].

贺兆波 ;

邹哲敏 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

罗月 ;

姜飞 ;

冯凯 ;

王书萍 .

中国专利 :CN117050661B ,2024-05-17

[6]

单晶硅抛光液泵给系统 [P].

罗平新 ;

王春阳 ;

季清海 ;

罗正光 .

中国专利 :CN216778587U ,2022-06-21

[7]

一种用于单晶硅片表面抛光的抛光液及其制备方法 [P].

胡颖妮 .

中国专利 :CN113150697A ,2021-07-23

[8]

一种用于硅晶圆的抛光液及其制备方法 [P].

汪福安 ;

唐传梅 ;

汪士祁 ;

梁海志 .

中国专利 :CN120795808A ,2025-10-17

[9]

一种提高抛光垫使用寿命的单晶硅晶圆片抛光方法 [P].

孙晨光 ;

曲涛 ;

魏艳军 ;

王力 .

中国专利 :CN104191352A ,2014-12-10

[10]

一种用于单晶硅晶圆的激光辅助抛光方法 [P].

管迎春 ;

李欣欣 ;

崔智铨 .

中国专利 :CN113967872A ,2022-01-25

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