一种基于最速下降法光刻配置参数的优化方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110351292.X
申请日
2011-11-09
公开(公告)号
CN102346379A
公开(公告)日
2012-02-08
发明(设计)人
李艳秋 郭学佳
申请人
申请人地址
100081 北京市海淀区中关村南大街5号
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
北京理工大学专利中心 11120
代理人
李爱英;杨志兵
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
基于归一化最速下降法光刻配置参数的优化方法 [P]. 
李艳秋 ;
郭学佳 .
中国专利 :CN102346380A ,2012-02-08
[2]
一种基于最速下降法的阻尼控制器协调参数优化方法 [P]. 
和萍 ;
武小鹏 ;
赵琛 ;
杨海晶 ;
申润杰 ;
祁盼 ;
李钊 ;
方棋元 ;
郑明明 .
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[3]
一种基于最速下降法的室内定位方法 [P]. 
王韦刚 ;
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[4]
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李雨濛 ;
魏义坤 ;
杨徽 ;
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[5]
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龙波 ;
朱子林 ;
李凌阳 ;
廖勇 ;
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[6]
针对双约束问题基于最速下降法的FPGA设计方法 [P]. 
陈禾 ;
李家豪 ;
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[7]
混沌与最速下降法联合优化的正交小波常数模盲均衡方法 [P]. 
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[8]
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蒲亦非 .
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[9]
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李艳秋 ;
郭学佳 .
中国专利 :CN102360171A ,2012-02-22
[10]
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王然 ;
何杰 ;
徐丽媛 ;
徐诚 ;
王沁 .
中国专利 :CN104965214A ,2015-10-07