一种二氧化钒薄膜的低温制备方法与应用

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专利类型
发明
申请号
CN201010126863.5
申请日
2010-03-18
公开(公告)号
CN101805131A
公开(公告)日
2010-08-18
发明(设计)人
高彦峰 张宗涛 杜靖 康利涛 罗宏杰
申请人
申请人地址
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
C03C1723
IPC分类号
代理机构
上海光华专利事务所 31219
代理人
许亦琳;余明伟
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种二氧化钒薄膜的制备方法 [P]. 
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[2]
二氧化钒薄膜的镀膜液和薄膜的制备方法及应用 [P]. 
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张宗涛 ;
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康利涛 ;
罗宏杰 .
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[3]
磁控溅射低温制备二氧化钒薄膜的方法 [P]. 
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[7]
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[9]
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[10]
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