一种咪唑啉型缓蚀剂及其制备方法与应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210078058.2
申请日
2022-01-24
公开(公告)号
CN114085188B
公开(公告)日
2022-02-25
发明(设计)人
崔仕章 张向红 王黎明 高瑞美 吴艳青 常新明 殷会良
申请人
申请人地址
257000 山东省东营市东营港经济开发区港城路以北港西三路以东
IPC主分类号
C07D23314
IPC分类号
C07D23316 C09K854 C23F1114
代理机构
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716
代理人
刘晓佳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种咪唑啉型缓蚀剂及缓蚀体系的制备方法 [P]. 
张淑芬 .
中国专利 :CN103012271A ,2013-04-03
[2]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
连贵宾 ;
赵波 ;
孙新春 ;
何志刚 ;
吴君 ;
卜魁勇 ;
张文辉 ;
刘冬梅 ;
程春雷 .
中国专利 :CN102964306A ,2013-03-13
[3]
一种改性咪唑啉型季铵盐的制备方法与改性咪唑啉缓蚀剂 [P]. 
罗沿予 ;
尹依娜 ;
汪沈阳 ;
董琴刚 ;
渠蒲 ;
蒋明龙 .
中国专利 :CN119823049B ,2025-10-10
[4]
一种改性咪唑啉型季铵盐的制备方法与改性咪唑啉缓蚀剂 [P]. 
罗沿予 ;
尹依娜 ;
汪沈阳 ;
董琴刚 ;
渠蒲 ;
蒋明龙 .
中国专利 :CN119823049A ,2025-04-15
[5]
一种酰基硫脲咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
王素芳 ;
丁秋炜 ;
徐慧 ;
丁舒 ;
林蓓 ;
于晓微 ;
张艳芳 ;
其他发明人请求不公开姓名 .
中国专利 :CN106554313B ,2017-04-05
[6]
咪唑啉型复合缓蚀剂 [P]. 
孙德生 ;
丁建 .
中国专利 :CN103113867A ,2013-05-22
[7]
咪唑啉耐高温缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
王世洁 ;
叶帆 ;
赵海洋 ;
姚彬 ;
李芳 ;
曾文广 ;
冯一波 ;
张江江 ;
张翼 ;
石鑫 ;
刘强 ;
高秋英 ;
吴鹏举 ;
杨耀辉 ;
杨小辉 .
中国专利 :CN110042398A ,2019-07-23
[8]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李双奇 ;
贺凤伟 ;
孙浩妍 .
中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28
[9]
一种聚醚改性咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
段向锋 ;
郭琦 ;
袁浩 ;
张光华 ;
张万斌 .
中国专利 :CN111320611A ,2020-06-23
[10]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
郑性能 ;
张建妮 .
中国专利 :CN106884171A ,2017-06-23