一种进出气箱体

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201521097987.X
申请日
2015-12-25
公开(公告)号
CN205451781U
公开(公告)日
2016-08-10
发明(设计)人
孙国龙
申请人
申请人地址
215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇龚巷路108号
IPC主分类号
G12B902
IPC分类号
G12B904
代理机构
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人
连平
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种进出气阀结构 [P]. 
王文瑞 ;
叶鹏军 .
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[2]
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[3]
一种进出气装置 [P]. 
刘鹏 ;
徐文立 ;
胡芳 ;
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[4]
晶圆载具进出气模组及进出气装置 [P]. 
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[5]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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