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连续式真空镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911181710.8
申请日：
2019-11-27
公开(公告)号：
CN110699659B
公开(公告)日：
2020-01-17
发明(设计)人：
金晨
杨卓
李建银
张澄
申请人：
申请人地址：
101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-17 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-02 | 授权 | 授权 |
| 2020-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20191127 |