一种退火炉的加热控制方法及退火炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010269172.4

申请日：

2020-04-08

公开(公告)号：

CN111354839B

公开(公告)日：

2020-06-30

发明(设计)人：

朱辉成秋云李明张弥涛梁浩石书清

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

戴玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-10	授权	授权
2020-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20200408
2020-06-30	公开	公开

共 50 条

[1]

退火炉抽真空方法及退火炉 [P].

秦剑 ;

桂方起 ;

钟军 ;

李萍 ;

高莹 ;

李泽浩 ;

郭新虎 .

中国专利 :CN111979503B ,2020-11-24

[2]

谈爱民 ;

何正平 ;

李海涛 ;

于明席 .

中国专利 :CN203794969U ,2014-08-27

[3]

退火炉以及铝材退火炉 [P].

付东伟 .

中国专利 :CN207498444U ,2018-06-15

[4]

退火炉及退火炉内的清理方法 [P].

戴伟存 ;

庞鑫 ;

彭耀龙 .

中国专利 :CN118207399A ,2024-06-18

[5]

一种退火炉炉压控制方法及退火炉 [P].

乔梁 ;

周建 ;

尹显东 ;

熊爱明 ;

吕剑 ;

康永华 ;

田才 ;

王艳强 .

中国专利 :CN105349767B ,2016-02-24

[6]

一种退火炉炉压控制方法及退火炉 [P].

刘彬 .

中国专利 :CN115058565A ,2022-09-16

[7]

卢守英 .

中国专利 :CN210340684U ,2020-04-17

[8]

刘美兰 .

中国专利 :CN222165680U ,2024-12-13

[9]

董庆敏 ;

赵永华 ;

范红宾 ;

陈天德 .

中国专利 :CN223633251U ,2025-12-05

[10]

黄信乐 ;

庞会芹 .

中国专利 :CN2883393Y ,2007-03-28

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