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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-07-23 | 授权 | 授权 |
| 2017-01-18 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101699003021 IPC(主分类):C23C 24/02 专利号:ZL2011103952949 申请日:20111202 授权公告日:20140723 终止日期:20151202 |
| 2012-04-25 | 公开 | 公开 |
| 2012-06-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101261319996 IPC(主分类):C23C 24/02 专利申请号:2011103952949 申请日:20111202 |