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超声波接合装置及超声波接合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910489656.7
申请日：
2019-06-06
公开(公告)号：
CN110581080A
公开(公告)日：
2019-12-17
发明(设计)人：
须永诚寿郎
宫腰敏畅
牧田光悦
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21607
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
杨琦
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/607 申请日:20190606 |