一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011232895.3

申请日：

2020-11-06

公开(公告)号：

CN112345462B

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

张传维史玉托李伟奇陈军郭春付

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地办公研发楼18栋4层5、6、7室

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

高兰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-14	授权	授权
2021-02-09	公开	公开
2021-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20201106

共 50 条

[1]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[2]

在旋转器件型光谱椭偏仪中的同步触发定标方法及装置 [P].

党江涛 ;

许静仙 .

中国专利 :CN105092036B ,2015-11-25

[3]

一种旋转偏振器件光谱椭偏仪的数据分析方法及系统 [P].

谷洪刚 ;

刘世元 ;

王敬军 ;

江浩 .

中国专利 :CN113281268B ,2021-08-20

[4]

光谱仪以及用于光谱仪的方法 [P].

S·J·泰勒 ;

J·R·阿特金森 .

中国专利 :CN108279264A ,2018-07-13

[5]

一种可变入射角的光谱椭偏仪 [P].

陈星 ;

许岚 ;

计亚平 ;

冯泽舟 .

中国专利 :CN114910422A ,2022-08-16

[6]

光谱仪、用于制造光谱仪的方法和用于运行光谱仪的方法 [P].

B·斯坦 ;

M·胡思尼克 ;

E·鲍姆加特 ;

F·毛赫 ;

C·谢林 ;

R·维斯 .

中国专利 :CN111684243A ,2020-09-18

[7]

一种光谱型椭偏仪椭偏角的校准方法 [P].

李锁印 ;

韩志国 ;

冯亚南 ;

梁法国 ;

赵琳 ;

许晓青 ;

吴爱华 .

中国专利 :CN106091952A ,2016-11-09

[8]

光谱仪系统和用于测试光谱仪系统的方法 [P].

费利克斯·克斯坦 ;

于尔根·格贝尔 .

中国专利 :CN113366288A ,2021-09-07

[9]

光谱仪系统和用于测试光谱仪系统的方法 [P].

费利克斯·克斯坦 ;

于尔根·格贝尔 .

德国专利 :CN113366288B ,2024-11-12

[10]

一种带Mapping功能的光谱椭偏仪 [P].

姚凌飞 ;

田晶晶 ;

何丽 ;

陈志润 .

中国专利 :CN222259143U ,2024-12-27

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