一种基于双光栅的精确定位装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120748707.6
申请日
2021-04-13
公开(公告)号
CN214666623U
公开(公告)日
2021-11-09
发明(设计)人
马刚
申请人
申请人地址
518114 广东省深圳市龙岗区南湾街道上李朗社区平吉大道66号康利城1号、2号1号楼901
IPC主分类号
G01B1100
IPC分类号
代理机构
深圳市众元信科专利代理有限公司 44757
代理人
王宣玲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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