一种可侦测腔体真空度的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420262000.4

申请日：

2014-05-21

公开(公告)号：

CN203850259U

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

沈建飞李广宁

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区大兴经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167 G01M320

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

李仪萍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20140521 授权公告日:20140924 终止日期:20190521
2014-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种腔体真空度检测工装 [P].

张杰 ;

江荣灿 ;

钟明 .

中国专利 :CN222635678U ,2025-03-18

[2]

真空度测量装置 [P].

徐志淮 .

中国专利 :CN204202809U ,2015-03-11

[3]

一种增加真空度的装置 [P].

张猛 .

中国专利 :CN214147429U ,2021-09-07

[4]

一种检测真空度的装置 [P].

陈秋林 .

中国专利 :CN202177484U ,2012-03-28

[5]

一种可显示真空度的出气阀 [P].

叶常青 .

中国专利 :CN217436597U ,2022-09-16

[6]

一种真空度保持装置 [P].

段镇企 .

中国专利 :CN216950739U ,2022-07-12

[7]

一种可实现多真空度的真空泵 [P].

冀春俊 ;

时茂 ;

姚莹海 ;

仵忠浩 .

中国专利 :CN210484112U ,2020-05-08

[8]

一种真空度控制装置 [P].

邓力明 .

中国专利 :CN222506796U ,2025-02-18

[9]

一种真空度检测装置 [P].

李奥 .

中国专利 :CN221302642U ,2024-07-09

[10]

一种真空度调节装置 [P].

张国财 ;

张晓波 ;

林连男 ;

杨璟 ;

王亚军 ;

毕冰 ;

张杰 ;

张国珍 ;

李大波 .

中国专利 :CN207195202U ,2018-04-06

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