共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种曝光机自动赶气装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023316025.2
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN213814296U
公开(公告)日：
2021-07-27
发明(设计)人：
袁强
刘长征
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖园区研发五路2号4栋1708室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
广东合方知识产权代理有限公司 44561
代理人：
梁洪文
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 授权 | 授权 |