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一种基体平面度检测仪及使用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111323705.3
申请日：
2021-11-10
公开(公告)号：
CN113983913A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
何洪波
申请人：
申请人地址：
050000 河北省石家庄市经济技术开发区天山国际创新产业园A区A1
IPC主分类号：
G01B528
IPC分类号：
G01B508
代理机构：
河北知亦可为专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115
代理人：
段力
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/28 申请日:20211110 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |