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微调过程模型的方法
被引:0
申请号
:
CN202210108239.5
申请日
:
2018-01-24
公开(公告)号
:
CN114415478A
公开(公告)日
:
2022-04-29
发明(设计)人
:
冯牧
M·F·沙伊甘萨拉克
朱典文
郑雷武
拉斐尔·C·豪厄尔
王祯祥
申请人
:
申请人地址
:
荷兰维德霍温
IPC主分类号
:
G03F720
IPC分类号
:
G05B19418
代理机构
:
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
:
胡良均
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-04-29
公开
公开
2022-05-20
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180124
共 50 条
[1]
微调过程模型的方法
[P].
冯牧
论文数:
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冯牧
;
M·F·沙伊甘萨拉克
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M·F·沙伊甘萨拉克
;
朱典文
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朱典文
;
郑雷武
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郑雷武
;
拉斐尔·C·豪厄尔
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拉斐尔·C·豪厄尔
;
王祯祥
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王祯祥
.
中国专利
:CN110325921B
,2019-10-11
[2]
微调过程模型的方法
[P].
冯牧
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
冯牧
;
M·F·沙伊甘萨拉克
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·F·沙伊甘萨拉克
;
朱典文
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
朱典文
;
郑雷武
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
郑雷武
;
拉斐尔·C·豪厄尔
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
拉斐尔·C·豪厄尔
;
王祯祥
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
王祯祥
.
:CN114415478B
,2025-01-03
[3]
生成过程模型的方法
[P].
威廉·K·沃伊斯尼斯
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威廉·K·沃伊斯尼斯
;
阿希什·梅赫塔
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阿希什·梅赫塔
;
迪尔克·蒂勒
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迪尔克·蒂勒
.
中国专利
:CN101055468B
,2007-10-17
[4]
用于生成过程模型的方法
[P].
贝内迪特·施密特
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贝内迪特·施密特
;
马塞洛·迪克斯
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马塞洛·迪克斯
;
马丁·霍伦德
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马丁·霍伦德
;
安德鲁·科恩
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安德鲁·科恩
;
阿扎姆·穆扎法尔·科特里瓦拉
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阿扎姆·穆扎法尔·科特里瓦拉
;
马克·盖特勒
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马克·盖特勒
;
西尔维亚·马克齐
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西尔维亚·马克齐
;
本杰明·克洛珀
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本杰明·克洛珀
.
中国专利
:CN115461686A
,2022-12-09
[5]
用于生成过程模型的方法
[P].
贝内迪特·施密特
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机构:
ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
贝内迪特·施密特
;
马塞洛·迪克斯
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ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
马塞洛·迪克斯
;
马丁·霍伦德
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ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
马丁·霍伦德
;
安德鲁·科恩
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ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
安德鲁·科恩
;
阿扎姆·穆扎法尔·科特里瓦拉
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机构:
ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
阿扎姆·穆扎法尔·科特里瓦拉
;
马克·盖特勒
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ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
马克·盖特勒
;
西尔维亚·马克齐
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机构:
ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
西尔维亚·马克齐
;
本杰明·克洛珀
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机构:
ABB瑞士股份有限公司
ABB瑞士股份有限公司
本杰明·克洛珀
.
:CN115461686B
,2025-09-05
[6]
生成过程模型的模型生成系统
[P].
威廉·K·沃伊斯尼斯
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威廉·K·沃伊斯尼斯
;
阿希什·梅赫塔
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阿希什·梅赫塔
;
迪尔克·蒂勒
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迪尔克·蒂勒
.
中国专利
:CN105259763A
,2016-01-20
[7]
过程模型的建模优化
[P].
M.库尔兹
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M.库尔兹
;
M.米埃勒
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M.米埃勒
;
A.泰卡勒
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A.泰卡勒
.
中国专利
:CN110520805B
,2019-11-29
[8]
针对过程模型的切片分析方法
[P].
刘鹏
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刘鹏
;
周伯生
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周伯生
;
王雷
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王雷
;
孙奎英
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孙奎英
.
中国专利
:CN101710403A
,2010-05-19
[9]
用于创建过程模型的装置和方法
[P].
米夏埃尔·皮克尔
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米夏埃尔·皮克尔
.
中国专利
:CN102365597A
,2012-02-29
[10]
在制造过程中引导过程模型和检查的方法
[P].
曹宇
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曹宇
;
邹毅
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邹毅
;
林晨希
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林晨希
.
中国专利
:CN114578661A
,2022-06-03
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