一种二维材料的刻蚀方法

被引：0

申请号：

CN202211139725.X

申请日：

2022-09-19

公开(公告)号：

CN115488515A

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

包文中朱宇轩夏银邵仁锦浦东林

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

B23K26362

IPC分类号：

B23K2670 H01L21461

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;陆尤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/362 申请日:20220919
2022-12-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种二维材料的原子层刻蚀方法 [P].

权业浩 ;

屈芙蓉 ;

夏洋 ;

吴雨菲 ;

何萌 ;

明帅强 ;

王欣 ;

夏天 .

中国专利 :CN118248556A ,2024-06-25

[2]

一种二维材料刻蚀氧化硅 [P].

赵士超 ;

吕燕飞 ;

徐竹华 .

中国专利 :CN110828309A ,2020-02-21

[3]

针对二维材料的激光刻蚀方法和系统 [P].

姚一锟 ;

唐向前 ;

王文宇 ;

单欣岩 ;

陆兴华 .

中国专利 :CN116493763B ,2025-11-28

[4]

一种二维材料可控刻蚀图案化的方法 [P].

罗庇荣 ;

黎林凤 ;

王容南 ;

王鹏程 ;

陈奇 ;

韩晴 ;

张瀛 .

中国专利 :CN118598192A ,2024-09-06

[5]

二维材料、二维材料合金以及二维材料异质结制备方法 [P].

王佩剑 ;

刘影 ;

潘宝俊 ;

蓝善贵 ;

俞滨 .

中国专利 :CN114411148A ,2022-04-29

[6]

一种二维材料-液体场效应的二维材料转移方法 [P].

杨培志 ;

李晶 ;

杨雯 ;

郭江涛 ;

王涛 ;

王琴 .

中国专利 :CN118007089A ,2024-05-10

[7]

二维材料、二维材料合金以及二维材料异质结制备方法 [P].

王佩剑 ;

刘影 ;

潘宝俊 ;

蓝善贵 ;

俞滨 .

中国专利 :CN114411148B ,2024-05-07

[8]

一种二维材料电阻和调节二维材料电阻的方法 [P].

邵乾宏 ;

韩闯 ;

刘科海 ;

王志东 ;

张志强 ;

刘开辉 ;

陈益 ;

王恩哥 .

中国专利 :CN119274904A ,2025-01-07

[9]

一种二维材料的转移方法和二维材料及其应用 [P].

邓庆明 .

中国专利 :CN110155999A ,2019-08-23

[10]

一种二维材料的转移方法和二维材料及其应用 [P].

刘杰英 ;

张广宇 ;

杨蓉 ;

时东霞 ;

赵交交 .

中国专利 :CN115050681A ,2022-09-13

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