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一种高稳定度石英谐振式力传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97116456.8
申请日：
1997-09-19
公开(公告)号：
CN1065337C
公开(公告)日：
1998-03-11
发明(设计)人：
冯冠平
王晓红
朱惠忠
申请人：
申请人地址：
100084北京市海淀区清华园
IPC主分类号：
G01L116
IPC分类号：
代理机构：
清华大学专利事务所
代理人：
刘晓蕊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1998-03-11 | 公开 | 公开 |
| 2001-05-02 | 授权 | 授权 |
| 1998-02-25 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2006-11-22 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |