一种密闭式硅芯自动存取装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510426897.9
申请日
2015-07-20
公开(公告)号
CN106185138B
公开(公告)日
2016-12-07
发明(设计)人
蔡延国 刘元香 鲍守珍 祝永强 宗冰 王体虎
申请人
申请人地址
810007 青海省西宁市东川工业园区金硅路1号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
B65G104
代理机构
兰州振华专利代理有限责任公司 62102
代理人
张晋
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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