具有能量采集器的微机电系统MEMS惯性传感器和相关方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811379525.5

申请日：

2018-11-20

公开(公告)号：

CN109813932B

公开(公告)日：

2019-05-28

发明(设计)人：

张欣

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G01P1508

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

欧阳帆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-28	公开	公开
2019-06-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 15/08 申请日:20181120
2021-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

微机电系统及其MEMS惯性传感器、制造方法 [P].

张拴 ;

杨云春 ;

马琳 ;

陆原 ;

郭鹏飞 .

中国专利 :CN113551672A ,2021-10-26

[2]

用于自检MEMS惯性传感器的方法和系统 [P].

W·A·克拉克 .

中国专利 :CN110702141A ,2020-01-17

[3]

微机电惯性传感器和用于运行微机电惯性传感器的方法 [P].

B·库尔曼 ;

T·巴尔斯林科 .

德国专利 :CN120538497A ,2025-08-26

[4]

制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器 [P].

王志玮 ;

唐德明 ;

张镭 ;

毛剑宏 ;

韩凤芹 .

中国专利 :CN103373698A ,2013-10-30

[5]

低寄生电容MEMS惯性传感器及相关方法 [P].

C·布莱克莫尔 ;

J·A·格雷戈里 ;

N·珀克洛夫斯基 ;

B·C·卡安塔 .

美国专利 :CN114096856B ,2025-12-16

[6]

低寄生电容MEMS惯性传感器及相关方法 [P].

C·布莱克莫尔 ;

J·A·格雷戈里 ;

N·珀克洛夫斯基 ;

B·C·卡安塔 .

中国专利 :CN114096856A ,2022-02-25

[7]

感知平面全方向振动的MEMS传感器和能量采集器及方法 [P].

冯跃 .

中国专利 :CN105043530B ,2015-11-11

[8]

微机电系统传感器及微机电系统传感器的制造方法 [P].

服部敦夫 .

中国专利 :CN101850943A ,2010-10-06

[9]

微机械惯性传感器和用于运行微机械惯性传感器的方法 [P].

D·鲍姆格特纳 ;

S·京特 ;

A·叶米利 ;

C·纳格尔 ;

J·赖因穆特 ;

R·舍本 .

德国专利 :CN119374578A ,2025-01-28

[10]

用于运行微机械惯性传感器的方法和微机械惯性传感器 [P].

R·舍本 ;

E·贝克塔什 ;

O-A·普吕茨 .

中国专利 :CN114764102A ,2022-07-19

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