脉冲激光沉积方法及其装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110314427.9

申请日：

2021-03-24

公开(公告)号：

CN113186497A

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

冯中沛金魁袁洁许波赵忠贤

申请人：

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋松山湖材料实验室

IPC主分类号：

C23C1428

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;李向英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	公开	公开

共 50 条

[1]

脉冲激光沉积设备及其沉积方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118600374B ,2025-01-21

[2]

脉冲激光沉积设备及其沉积方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN118600374A ,2024-09-06

[3]

脉冲激光沉积装置及方法 [P].

冯中沛 ;

金魁 ;

袁洁 ;

许波 ;

赵忠贤 .

中国专利 :CN113445007A ,2021-09-28

[4]

脉冲激光沉积方法 [P].

亚里·鲁图 .

中国专利 :CN101128617A ,2008-02-20

[5]

脉冲激光沉积系统 [P].

石永敬 .

中国专利 :CN207775343U ,2018-08-28

[6]

脉冲激光沉积方法 [P].

杰瑞·鲁图 .

中国专利 :CN101128616A ,2008-02-20

[7]

脉冲激光沉积装置 [P].

章嵩 ;

王传彬 ;

沈强 ;

张联盟 ;

涂溶 .

中国专利 :CN103668085A ,2014-03-26

[8]

用于脉冲激光沉积的方法 [P].

J·A·扬森斯 ;

J·M·德克斯 ;

K·H·A·伯姆 ;

J·A·霍伊费尔 .

中国专利 :CN110257778A ,2019-09-20

[9]

脉冲激光沉积设备的镀膜控制方法、系统及脉冲激光沉积设备 [P].

张晓军 ;

罗敏 ;

胡凯 ;

陈志强 ;

方安安 ;

姜鹭 ;

潘恒 ;

王岩 ;

王峻岭 .

中国专利 :CN108950485A ,2018-12-07

[10]

一种脉冲激光沉积镀膜装置 [P].

王燕丽 .

中国专利 :CN210711715U ,2020-06-09

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