一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110287178.9

申请日：

2021-03-17

公开(公告)号：

CN113061852B

公开(公告)日：

2021-07-02

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽李小萍

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22F104

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210317
2021-07-02	公开	公开
2022-09-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李小萍 .

中国专利 :CN113061853A ,2021-07-02

[2]

一种高纯铝合金靶材及其制备方法 [P].

王兴权 ;

丁照崇 ;

曹晓萌 ;

万小勇 ;

王焕焕 ;

何金江 ;

尚再艳 ;

曹梓琪 .

中国专利 :CN116103622B ,2025-12-12

[3]

高纯铜铝合金靶材及其制备方法 [P].

刘明翔 ;

李世政 ;

丁振卿 .

中国专利 :CN119753596A ,2025-04-04

[4]

溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法 [P].

黄岩 ;

李云 ;

史大成 .

中国专利 :CN114959595B ,2024-03-29

[5]

靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

广田二郎 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN113373350B ,2021-09-10

[6]

一种高纯圆形铝合金靶材制备改良装置 [P].

吴丽君 ;

覃雪峰 ;

陈淑娇 .

中国专利 :CN214923101U ,2021-11-30

[7]

铝合金靶材及其制备方法 [P].

宋爱谋 ;

钟小亮 .

中国专利 :CN104480445A ,2015-04-01

[8]

一种高纯铝靶材的焊接方法 [P].

王小兰 ;

马国成 ;

高建成 .

中国专利 :CN119387796A ,2025-02-07

[9]

一种高纯银锂合金靶材及其制备方法 [P].

陈昊 ;

何兴群 ;

周龙海 ;

沈大吉 ;

郑学军 ;

马小龙 ;

余建军 ;

刘开强 ;

丁锋 .

中国专利 :CN119685765A ,2025-03-25

[10]

一种铝合金靶材及其制备方法 [P].

芦海东 ;

黄宇彬 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN114481052A ,2022-05-13

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